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Ion Implantation Technology  - 17th International Conference on Ion Implantation Technology
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Ion Implantation Technology

17th International Conference on Ion Implantation Technology

Erschienen 2009.

Produktart:
📚 Bücher
Autor(en):
Seebauer, Edmund G., Susan B. Felch und Amitabh Jain:
Anbieter:
Buchpark GmbH
Bestell-Nr.:
494531712
Katalog:
Varia
ISBN:
0735405972
EAN:
9780735405974
Stichworte:

implantation, dopant, diffusion, CMOS, doping, processes, annealing, Process, Controll, semiconductor, processing, Yield, MOSFET, fabrication, plasma, immersion, SiGe, Processing, ultra-shallow, junctions, cluster, beams

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