Neuware
On UV-Nanoimprint-Lithography as Direct Patterning Tool for Polymeric Microsystems
von Robert Kirchner
2012 Kartoniert, 216 Seiten, 210mm x 148mm x 14mm, Sprache(n): eng This thesis was prepared between July 2007 and August 2011 at the Institute of Semiconductors and Microsystems (IHM) of the Technische Universität Dresden (TU Dresden) in cooperation with the Fraunhofer Institute for Photonic Mic…
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Anbieter: MARZIES Buch- und Medienhandel, Schönwalde-Glien, Deutschland
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- ISBN / EAN
- 9783942710657
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