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Ketchen, Mark B.; Bhushan, Manjul

Microelectronic Test Structures for CMOS Technology (Gebundene Ausgabe)

Springer-Verlag GmbH, Springer US, New York, N.Y., September 2011


374 S. - Sprache: Englisch - 302 schwarz-weiße Abbildungen - 241x165x30 mm Book

ISBN: 1441993762 EAN: 9781441993762

Microelectronic Test Structures for CMOS Technology and Products addresses the basic concepts of the design of test structures for incorporation within test-vehicles, scribe-lines, and CMOS products. The role of test structures in the development and monitoring of CMOS technologies and products has become ever more important with the increased cost and complexity of development and manufacturing. In this timely volume, IBM scientists Manjul Bhushan and Mark Ketchen emphasize high speed characterization techniques for digital CMOS circuit applications and bridging between circuit performance and characteristics of MOSFETs and other circuit elements. ?Detailed examples are presented throughout, many of which are equally applicable to other microelectronic technologies as well. The authors' overarching goal is to provide students and technology practitioners alike a practical guide to the disciplined design and use of test structures that give unambiguous information on the parametrics and performance of digital CMOS technology.


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Produktdetails

Provides a comprehensive guide to designing the most effective and lowest-cost microelectronic test structures Uses specific examples of good design techniques and discusses common errors to avoid in order to guide readers Presents an integrated approach to multiple parts of the design process, using measurement techniques and statistical analysis combined with physical mapping

Inhaltsverzeichnis

Introduction.- Test Structure Basics.- Resistors.- Capacitors.- MOSFETs.- Ring Oscillators.- High Speed Characterization.- Test Structures of SOI Technology.- Test Equipment and Measurements.- Data Analysis.


ISBN 1-441993-76-2, ISBN 1-44-199376-2, ISBN 1-44199-376-2, ISBN 1-441-99376-2, ISBN 1-4419-9376-2

ISBN 978-1-441993-76-2, ISBN 978-1-44-199376-2, ISBN 978-1-44199-376-2, ISBN 978-1-441-99376-2, ISBN 978-1-4419-9376-2

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