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Institut für Mikrotechnologie der Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover (Herausgeber)

CHARMA  Messtechnik für die fertigungsgerechte Charakterisierung magnetischer Mikrobauteile (Kartoniert / Broschiert / Paperback)

Steinbeis-Edition, Januar 2011


134 S. - Sprache: Deutsch - 136 Abbildungen, 10 Tabellen - 211x149x18 mm

ISBN: 3941417355 EAN: 9783941417359

Die Bestimmung der magnetischen Eigenschaften dünner magnetischer Filme auf Waferniveau zu ermöglichen, war die Hauptaufgabe des Verbundprojektes ''Messtechnik für die fertigungsgerechte Charakterisierung magnetischer Mikrobauteile'' (CHARMA). Damit erhält der Hersteller von magnetischen Mikrosensoren bereits während der Fertigung die Möglichkeit zur Qualitätssicherung bei dünnen magnetischen Schichten. Hierzu wurde ein Hysteresemesssystem entwickelt, bestehend aus mikrotechnisch gefertigtem Wandler, Ansteuerung und hochempfindlicher Auswertung. Das System gestattet, anisotrope Schichteigenschaften zu erfassen. Neben Aktivitäten in magnetischer Mikromesstechnik wurden ferner Verfahren entwickelt, mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahls (Focused Ion Beam FIB) Bauteile an der Oberfläche aufzuschneiden und geometrische Eigenschaften zu bestimmen. Damit steht eine in-situ-Messmöglichkeit bei der Fertigung von magnetischen Bauteilen zur Verfügung.


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ISBN 3-941417-35-5

ISBN 978-3-941417-35-9

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